光氧催化反應進行的第一階段是利用特制的高能UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業廢氣如：VOC類，苯類，烴類，醇類，酯類，酮類等多種VOC（揮發性有機化合物），處理效果好，凈化效率高，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。

第二階段是利用高能UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。 UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用，對工業廢氣及其它刺激性異味有立竿見影的清除效果。第三階段是利用納米紫外線照射涂有TIO2的媒介（光觸媒板）產生-OH來氧化有機廢氣。有機廢氣經過本設備凈化后，使廢氣物質其降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。